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ROHMHAAS 拋光墊 / ROHMHAAS PAD |
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| Suba Pad |
Politex Pad |
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| Polishing Mterial |
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| IC 1000 pad |
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| GMT供應美國ROHM & HAAS (羅門哈斯)拋光墊和拋光液, 如MH、SUBA、POLITEX、DPC、IC, NP, Nalco等系列. 主要應用於積體電路晶元（Silicon Wafer) 、 GaAS基板、存儲硬碟等行業應用的研磨拋光加工. |
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ROHMHAAS 拋光液/ ROHMHAAS SLURRY |
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| NP8040 |
Nalco spec |
Nalco List |
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ROHMHAAS TEMPLATE |
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| TEMPLATE |
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RETAINER RING |
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| Retainer Ring |
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OTHER MACHINE/研磨拋光機 |
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9B
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12B |
16B |
24B |
| 定盤 |
φ 640 X φ 235 X30T |
φ 780 X φ 310 X 35T |
φ 1196 X φ 395 X 50T |
φ 1642 X φ 544 X 60T |
最大加工物
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φ 180 |
φ 220 |
φ 420 |
φ 550 |
| carrier規格 |
φ 228.5(P.C.D) |
φ 283.6(P.C.D) |
φ 450(P.C.D) |
φ 607.4(P.C.D) |
| 可放入carrier數 |
5 |
5 |
5 |
5 |
| 最小加工厚度 |
300 μ m |
300 μ m |
400 μ m |
700 μ m |
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